碳化硅反应器采用微反应器代替传统的反应器进行化学反应的工艺技术，微反应器包括微换热器、微混合器以及微控制器，也称为微通道反应器，它是一种利用微加工技术和精密加工技术制造的具有微结构的管道式微型反应器，替代宏观的玻璃器皿如烧瓶、试管等及其它传统间歇式反应器。

　　反应器中关键的部分是一系列有序的三维结构的微通道，其反应体积从几nL到几μL，长度通常在几厘米左右，有利于实现反应物在微通道内快速连续流动。反应器的微通道形貌、尺寸直接影响化学反应过程，所以陶瓷基微通道反应器中微通道的成型是核心，通道的密封是关键，陶瓷材料主要成分不同，其力学、化学、热特性差异较大，应采用不同的加工技术。

　　反应器是一种化学气相沉积碳化硅纤维的反应器，由上下封头和反应室三部分组成，其特征在于：在上下封头中分别增设2～6孔的多孔毛细管，相互同心呈直线关系，并与反应室轴线呈对称分布，可在原有的化学气相沉积反应条件不变情况下，同时沉积两根以上碳化硅纤维，从而大大提高生产效率。

　　反应器芯片为无压烧结碳化硅材质，具有*的耐化学腐蚀性和导热率，可处理包括氢氟酸、KOH等强腐蚀性物质，其高导热率决定了其具有换热效率，改善了反应过程的传热条件，加快了反应效率，反应器外部支架为不锈钢材质，带有特制隔热保温层，可有利于节能降耗以及更准确的控温。

　　反应器芯片原材料为亚微米级高纯碳化硅，采用无压烧结工艺经2150度烧制，并经精密加工而成；单组反应器单元为多片式结构，采用技术高温键合成一个整体，芯片自身带有温度探头，可灵活监控反应温度，满足了媒介的快速流动，不会产生明显压降，又可保证媒介与芯片本体充分接触，有利于精准控温。